Плазма өслеген чистарту процессы - газ кисәкчәләреннән югары энергияле плазма ясап, үрнәк өслегендәге пычраклар һәм пычраткыч матдәләр юкка чыгарыла торган процесс, ул өслекне чистарту, өслекне стерилизацияләү, өслекне активлаштыру, өслек энергиясен үзгәртү, бәйләү һәм ябышу өчен өслек әзерлеге, өслек химиясен модификацияләү.